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品牌智庭科技 | 有效期至長期有效 | 最后更新2024-11-16 11:40 |
目鏡放大倍數(shù)20X | 物鏡放大倍數(shù)100X | 平臺移動范圍300mm×200mm×70mm |
瀏覽次數(shù)267 |
1. 儀器主機說明
TMM-3207是我司針對半導(dǎo)體行業(yè)推出的一款高性能的手動測量金相顯微鏡,結(jié)合公司多年影像測量和掃描的生產(chǎn)經(jīng)驗,以及自主研發(fā)的三維測量掃描軟件,將設(shè)備的高性能的特點發(fā)揮到。
l 選用高清品牌相機,措載soptop金相系統(tǒng),整體成像清晰無閃爍,視場開闊。
l 物鏡可切換多種倍率:5x,10x,20×,50x(選配)100×(選配),綜合倍率可達
2000倍以上。
l 標(biāo)配反射和透射LED可程控光源或非程控鹵素光源。
l 利用可變孔徑光闌,可進行無衍射觀察測量。
l 單視野范圍內(nèi)測量精度±1μm,重復(fù)精度±0.5μm加裝光譜共焦位移傳感器可測高度、
深度、平面度,測量精度±1μm。
l 可根據(jù)客戶需求,訂制各種尺寸工作臺,目前行程可做3000*2000mm,最小行程可做
50*50mm工作臺。
l 有精調(diào)/微調(diào)兩種模式,便于聚焦和觀察測量,快速定位焦面。
l 可根據(jù)客戶要求加配超長工作距離APO物鏡,激光測頭各種規(guī)格攝像機以及更高精度光
柵等(光尺選配0.01μm)。
l 自主研發(fā)金相測量軟件,頁面簡潔大氣,操作方便易上手,可適高精度要求的復(fù)雜工件
測量。
2.技術(shù)參數(shù)
掃描范圍 |
XYZ三軸移動范圍(mm) |
300*200*70 |
||
外形尺寸(mm) |
750*570*830 |
|||
玻璃臺面尺寸(mm) |
340*240 |
|||
臺面承重(kg) |
25 |
|||
儀器凈重(kg) |
180 |
|||
光學(xué)影像及測量系統(tǒng) |
光學(xué)系統(tǒng) |
無限遠(yuǎn)平場消色差金相顯微光學(xué)模組(3目) |
||
金相顯微物鏡倍率 |
5X |
10X |
20X |
|
視頻總放大倍率 |
241.5X |
483X |
966X |
|
雙目目鏡倍率 |
標(biāo)配10X目鏡(視場數(shù)Φ22mm),也可選配20X目鏡 |
|||
物方工作距離(mm) |
26.1 |
20.2 |
8.8 |
|
物方視場(mm) |
1.47*0.98 |
0.735*0.49 |
0.368*0.245 |
|
照明光源 |
上光:LED同軸落射冷光源(程控調(diào)光) 底光:LED平行冷光源(程控調(diào)光) 輔光: LED光源(程控調(diào)光) |
|||
攝像機 |
HIKVISION 500萬像素高清彩色數(shù)字相機 |
|||
示值誤差(μm) |
單視野 |
±1 |
||
XY行程范圍 |
2.5+L/200 |
|||
重復(fù)精度(μm) |
單視野 |
±0.5 |
||
XY行程范圍 |
2.5 |
|||
XYZ光柵分辨力(μm) |
1 |
|||
掃描測量軟件 |
ZT Vision-M (擁有自主知識產(chǎn)權(quán)) |
|||
其他選配件 |
光譜共焦位移傳感器、激光位移傳感器、自動變倍金相顯微模組等 |
|||
電腦 |
聯(lián)想E95/G3930/4G/1T/集成 |
|||
工作電源 |
AC200-240V 50/60Hz 450W(注:需有電阻≤4Ω接地線) |
|||
工作環(huán)境 |
溫度20±2℃, 相對濕30%-80%,振動<0.002g,低于15Hz, 遠(yuǎn)離振源 |
公司名 | 智庭科技(武漢)有限公司 | 經(jīng)營模式 | |
---|---|---|---|
注冊資本 | 未填寫 | 公司注冊時間 | |
公司所在地 | 湖北/武漢 | 企業(yè)類型 | () |
保 證 金 | 已繳納 0.00 元 | 資料認(rèn)證 | ![]() |
主營行業(yè) | , | ||
主營產(chǎn)品或服務(wù) |
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壓鑄網(wǎng)
微信掃描關(guān)注