英微米表面微粒分析儀U-III該產(chǎn)品專為高潔凈度制造場景設(shè)計(jì)，采用革命性激光傳感技術(shù)與智能采樣系統(tǒng)，可精 準(zhǔn)檢測0.1微米級表面顆粒污染，助力半導(dǎo)體、液晶面板及精密電子行業(yè)實(shí)現(xiàn)更高良率與可靠性。
核心技術(shù)原理
界面顆粒再懸浮技術(shù)?：采用先進(jìn)界面技術(shù)，通過物理或氣流方式將附著在關(guān)鍵表面的顆粒重新懸浮，便于后續(xù)檢測。
高精度光學(xué)檢測：基于激光光學(xué)傳感器和光散射原理，實(shí)時(shí)捕獲懸浮粒子的散射光信號，實(shí)現(xiàn)單個(gè)粒子尺寸的精確分析。
關(guān)鍵性能指標(biāo)
分辨率達(dá)0.1微米，支持納米級顆粒檢測；
配備靜態(tài)采樣模式，提升測量精度和穩(wěn)定性；符合ISO-14644-9表面粒子控制標(biāo)準(zhǔn)，滿足半導(dǎo)體制造中對潔凈度的嚴(yán)苛要求。
行業(yè)應(yīng)用優(yōu)勢
減少50%以上的自凈時(shí)間及顆粒數(shù)，縮短PM周期，提升制造效率；
通過實(shí)時(shí)監(jiān)測表面污染，降低因顆粒導(dǎo)致的良率損失和可靠性風(fēng)險(xiǎn)；
適用于晶圓、光學(xué)元件、精密電路板等對潔凈度敏感的生產(chǎn)環(huán)節(jié)。
系統(tǒng)集成設(shè)計(jì)
支持USB數(shù)據(jù)導(dǎo)出和軟件升級，便于與工廠智能管理系統(tǒng)對接；
采用雙電池?zé)岵灏卧O(shè)計(jì)，適應(yīng)連續(xù)生產(chǎn)環(huán)境的需求。
該系列設(shè)備通過量化表面污染數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造中的過程控制提供標(biāo)準(zhǔn)化依據(jù)，從而優(yōu)化生產(chǎn)良率和產(chǎn)品可靠性。
傳感器：第七代雙激光窄光檢測器，壽命>200000次
測量粒徑：A 0.3um、2.5um、10um；
B 0.3um、(0.5/1.0/2.5/5.0)um、10um；
C 0.3um、0.5um、1.0um、2.5um、5.0m、10um；
D 0.5um、1.0um、1.5um、2.0um、2.5um、3.0um；
E 0.5um、1.0um、3.0um、5.0um、10.0um、25.0um；
F 0.10um、0.2um、0.25um、0.5um、0.7um、1.0 μm;
粒徑分布誤差：≤±30%
濃度示值誤差：≤±30%
重復(fù)相對偏差：≤±10%FS
重疊誤差：當(dāng)每立方英尺2,000,000個(gè)粒子時(shí)小于5%
氣體檢測：可同時(shí)檢測氣體濃度，支持1-3個(gè)各種類型的氣體傳感器
溫度范圍：-40 ～ 120℃
檢定標(biāo)準(zhǔn)：計(jì)數(shù)報(bào)告符合GB/T16292-1996及ISO14644-1標(biāo)準(zhǔn)或GB/T6167-2007 JJF1190-2008
氣泵流速：2.83L/min，28.3L/min（可選）；
采樣時(shí)間：3、6、9、12、15、30、60秒（可選）；
檢測模式：數(shù)量模式；質(zhì)量模式； 凈效模式；三種檢測模式可切換
檢測方式：定時(shí)檢測、循環(huán)檢測可設(shè)置
報(bào)警方式：自定義數(shù)量報(bào)警值、質(zhì)量報(bào)警值
限值報(bào)警：RS485信號報(bào)警或外接聲光報(bào)警器
法 規(guī) 性：權(quán)限管控、審計(jì)追蹤、電子記錄等
來源：英微米光電(武漢)有限公司
來源鏈接：https://www.instrument.com.cn/netshow/SH119044/C602959.htm
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